Mūsų aukštos{0}}temperatūrinės oksidacijos RTP įranga yra pagrindinis šiluminis įrankis, skirtas didelio masto Jis plačiai naudojamas puslaidininkių gamyboje, naujoje energetinėje elektronikoje, aukščiausios klasės-elektroninių komponentų ir net universiteto / mokslinių tyrimų laboratorijos nustatymuose, skirtuose puslaidininkių tyrimams ir plėtrai bei bandomajai gamybai.
Kaip pasirinkti tinkamą modelį
Tinkamo pasirinkimas priklauso nuo gamybos poreikių ir procesų,{0}}toliau pateikiama paprasta analizė:
1. 12-colių modelis
Jei mėgstate pažangią masinę didelių -dydžių plokštelių gamybą, šis. Jis gali apdoroti daugiau nei 125 plokšteles vienoje valtyje, todėl puikiai tinka didelės apimties, didelės apimties-pagrindinių puslaidininkinių įrenginių gamybai. Be to, jis siūlo tikslų temperatūros valdymą (±0,5 laipsnio) ir pastovios temperatūros zoną, didesnę arba lygi 850 mm, užtikrinant vienodą plėvelės storį (WIW/WTW/RTR Mažesnis arba lygus ±2%) kiekvienai partijai.
2. 8-colių modelis
Tai viskas apie lankstumą. Jis veikia su keliais oksidacijos metodais-sausuoju deguonimi (Si) ir šlapiuoju deguonimi (greitas garinimas / vandens vonia / HO uždegimas)-, todėl atitinka daugumą pagrindinių masinės gamybos poreikių. Temperatūra-svyruoja nuo 600{11}}1150 laipsnių, o valdymo tikslumas mažesnis arba lygus ±0,5 laipsnio, o pastovios temperatūros zona (300–860 mm) užtikrina patikimą plėvelės vienodumą (WIW/WTW Mažiau arba lygi ±2 %). Jis pritaikytas 8 colių masinei gamybai, todėl efektyvumas išlieka lygus didelio masto poreikiams.
Kam tai skirta ir kur tinka
Stambūs puslaidininkių gamintojai: 12-colių modelis yra jūsų pasirinkimas norint išjungti CMOS lustus, IGBT maitinimo įrenginius ir kitus pagrindinius komponentus dideliais kiekiais.
Pagrindinės elektronikos / naujos energijos įmonės: 8-colių modelis čia puikiai tinka-nesvarbu, ar gaminate automobilių elektroniką, 5G ryšio pagrindines dalis, plataus vartojimo elektroninius lustus ar galios puslaidininkius, jo suderinamumas su keliais procesais užtikrina sklandų gamybą.
Universitetai ir mokslinių tyrimų institucijos: 8-colių modelis puikiai tinka išbandyti naujas puslaidininkines medžiagas arba kurti pažangiausius įrenginių prototipus. Jis lengvai pritaikomas prie skirtingų MTEP sąrankų, o tai yra didelis privalumas dirbant laboratorijoje.
Greita pastaba apie kokybę: kameroje naudojame profesionalias medžiagas ir išmanų konstrukcinį dizainą, todėl plėvelės grynumas garantuojamas-jokių nepageidaujamų nešvarumų, kurie viską sujauks. Abu modeliai pasižymi stabiliais procesais dėl tikslios temperatūros kontrolės ir pastovios plėvelės kokybės.
Vis dar nežinote, kuris tinka geriausiai? Susisiekite su mumis ir mes padėsime jums pasirinkti tinkamą įrangą jūsų darbo eigai!
