Kaip pasirinkti tinkamą magnetrono purškimo sistemą jūsų darbui

Renkantis magnetrono purškimo dengimo mašiną reikia išsirinkti ne „geriausią“-, o rasti tą, kuris kaip pirštinė tinka jūsų darbo eigai. Nesvarbu, ar kraunate puslaidininkinius komponentus, laboratorijoje koreguojate plonos{2} plėvelės formules, ar derinate universalumą su gamybos poreikiais, mūsų įmonės trys magnetronų purškimo sistemos puikiai tinka skirtingiems poreikiams. Peržvelkime specifikacijas ir suderinkime tai, ką darote, su tuo, ko jums reikia.

Pirma: užduokite šiuos 3 klausimus, kad susiaurintumėte

Nereikia iš karto pasinerti į kiekvieną techninę smulkmeną. Pradėkite nuo pagrindinių dalykų, kurie formuoja jūsų kasdienį{1}}į-darbą:

1. Ar ketinate didinti masinę gamybą ar kartoti mažų -partijinių MTTP?

2. Su kokiais substratais ir medžiagomis dirbate? (Pagalvokite apie plokštelių dydžius, metalus ir dielektrikus.)

3. Ar jums reikia neautomatizavimo-, kad neatsiliktumėte nuo greičio ar lankstumo, kad galėtumėte keisti procesus?

Atsakę į šiuos klausimus iš karto nukreipsite į tinkamą sistemą. Išsiaiškinkime, kaip kiekvienas iš jų atitinka realų-scenarijus.

Didelės{0}}apimties pramoninei gamybai:Pramoninis kelių{0}}kamerų modelisMagnetronų purškimo sistema

Jei jūsų tikslas yra užtikrinti, kad gamybos linijos judėtų neprarandant plėvelės kokybės, -tarkime, jūs gaminate puslaidininkius arba labai{1}}tikslią elektroniką-, ši sistema sukurta taip, kad galėtų susidoroti su šlifavimu. Tai ne tik mašina; tai supaprastinta darbo eiga dėžutėje.

Kuo jis išsiskiria? Jame naudojamos iki 5 modulinių, nepriklausomų proceso kamerų, todėl galite atlikti visą dengimo ciklą -šildyti, šalinti dujas, purkšti ir net valyti-be rankinio įsikišimo. Tai reiškia mažiau prastovų tarp partijų ir nuoseklius rezultatus kiekvieną kartą. Matėme, kad puslaidininkių gamintojai sutrumpina proceso laiką 30 % vien leisdami automatikai atlikti pasikartojančius veiksmus.

Jis sukurtas 6-colių ir 8 colių plokštelėms, lengvai susidoroja su metalais ir dielektriniais elementais ir pasiekia didžiausią 2 × 10⁻⁵ Pa kritinį vakuumą, kad šios plonos plėvelės būtų švarios. O kai dangos vienodumas yra ±3 %, jums nereikės rūšiuoti sugedusių dalių linijos pabaigoje.

Trumpai tariant: jei „efektyvumas“ ir „nuoseklumas“ yra jūsų komandos madingi žodžiai, tai yra jūsų darbo arkliukas.

Lankstiems pramonės poreikiams:Pramoninis vienos{0}}kameros modelisMagnetronų purškimo sistema

Ne kiekviename gamybos aukšte reikalinga visa{0}}kelių kamerų sąranka. Galbūt vieną savaitę pakeisite metalines dangas, o kitą – keramikines, arba norite suderinti našumą su sąnaudomis. Čia šviečia pramoninio standarto sistema-tai „visų profesijų lizdas“, kuris vis dar užtikrina pramoninio-lygio našumą.

Sukūrėme tai atsižvelgdami į praktiškumą. Jis taupo energiją-ir protingai naudoja taikinius, todėl nešvaistote medžiagų ar energijos. Pagrindo stadija taip pat yra žaidimo-keitiklis-galite jį pašildyti iki 650 laipsnių arba atvėsinti, priklausomai nuo to, kokia medžiaga turi tinkamai prilipti ir sukietėti. Nebereikia kaupti papildomos įrangos temperatūrai reguliuoti.

Jis veikia su 8-colių ir mažesnėmis plokštelėmis, palaiko iki 4 taikinių pistoletų, o pasirenkami priedai, pvz., LOADLOCK kamera arba kelių -plokščių kasetė, leidžia lengvai pritaikyti augant jūsų poreikiams. Viena elektronikos gamykla, su kuria dirbame, ją naudoja viskam – nuo ​​jutiklių dangų iki plokštės komponentų – jiems patinka, kad kiekvienam darbui nereikia atskiros mašinos.

Laboratorijoms ir MTEP:Tyrimas-Pažymių modelisMagnetronų purškimo sistema

Jei dirbate universiteto laboratorijoje arba pradedate išbandyti naujas plonasluoksnes -plėvelės technologijas-galvokite apie kvantinius lustus ar pažangius jutiklius-, jums reikia sistemos, kuri būtų tokia pat įdomi kaip ir jūsų komanda. „Research Edition“ prekiauja didelės apimties-automatizavimu, kad būtų galima lanksčiai eksperimentuoti, keisti ir kartoti be vargo.

Tai sistema, apie kurią džiaugiasi mūsų MTTP partneriai. Jis susidoroja su beveik visomis medžiagomis, kurias galite išmesti: Al, Au, Cu metalams; SiO₂, TaN dielektrikams; net puslaidininkiai. Vykstant projektui galite pridėti modulių, pvz., -vakuuminės kameros arba valymo įrankių pavyzdžių,-nereikia pirkti visiškai naujos mašinos, kai pasisuka jūsų tyrimai.

Jis pakankamai kompaktiškas laboratorijoms, o dėl mažos -partijos talpos nešvaistysite brangių medžiagų bandomiesiems paleidimams. Pagrindo stadija leidžia reguliuoti temperatūrą (RT-600 laipsnių) ir sukimosi greitį (5–20 aps./min.), kad galėtumėte pasirinkti tuos tobulus proceso parametrus. 8 colių plokštelėms jis vis tiek pasiekia ±3 % vienodumą, todėl jūsų laboratorijos rezultatai bus paversti, kai būsite pasiruošę keisti mastelį.

Greita nuoroda: kuri sistema atitinka jūsų vaidmenį?

Paskutinė pastaba: mes palaikome jus

Visos Magnetron Sputtering sistemos atitinka griežtus kokybės standartus, tačiau tai, kas iš tikrųjų išskiria mus, yra palaikymas. Mūsų komanda sujungia vietinį reagavimo greitį su būstinės patirtimi-bei atsarginėmis dalimis,-kad niekada neliktų laukti, jei prireiks pagalbos. Ir jei jūsų projektui reikia kažko pritaikyto, pvz., didesnių substratų ar unikalių proceso sąrankų, sistemą pritaikysime jums.

Geriausia dalis? Jūs ne tik perkate mašiną,{0}}bet renkatės sprendimą, kuris auga kartu su jumis. Jei vis dar nežinote, kuri sistema tinka jūsų kitam projektui, kreipkitės į mūsų techninę komandą. Apžvelgsime jūsų darbo eigą, atsakysime į jūsų klausimus ir įsitikinsime, kad gausite būtent tai, ko jums reikia.