Trimatis optinis profilometras leidžia tiksliai išmatuoti nuo mikrometrų iki nanometrų, naudojant baltos šviesos trukdžius arba konfokalinę technologiją, ir analizuoja kietos medžiagos paviršių trimatę morfologiją, šiurkštumą ir kontūrą. Šis instrumentas turi ne-kontaktinių matavimų charakteristikas, neleidžiančias pažeisti išmatuoto paviršiaus, ir tinka įvairioms medžiagoms, tokioms kaip skaidrus / metalas / didelis atspindys. Mechaninės gamybos, puslaidininkių, kosmoso ir kt. srityse 3D optiniai profilometrai plačiai naudojami kokybės kontrolei, procesų stebėjimui ir gaminių kūrimui.
Iki 2025 m. pagrindiniai modeliai, tokie kaip ZeGage Pro ir SuperViewW1, turės seisminį našumą ir automatizuotus matavimus, kurių matavimo tikslumas viršys 0,1 nm. Prietaiso funkcijos apima mikromorfologijos analizę, kreivumo skaičiavimą ir plonos plėvelės charakteristikų aptikimą, kurie atitinka ISO 25178 standartą ir tapo pagrindine šiuolaikinės tikslios gamybos aptikimo įranga.
