Pavargote nuo didelių gabaritų įrangos, užėmusios jūsų laboratoriją ar nedidelę gamybos erdvę? RTP{2}}100 darbalaukio RTP sistema sukurta mažoms plokštelėms (maks. 6 colių)-puikiai tinka komandoms, kurioms reikia tikslumo neprarandant kvadratinių kadrų. Tai paprasta, patikima ir pritaikyta kasdieniams tyrėjų bei mažų partijų gamintojų poreikiams.
Kas mums patinka
Tinka kaip pirštinė: 910 mm × 860 mm × 695 mm (P × G × A) jis slysta į siaurus kampus arba perpildytus darbastalius. Nereikia pertvarkyti visos sąrankos, kad pridėtumėte terminio apdorojimo galimybę.
Temperatūros valdymas, kuriuo galite pasikliauti: du būdai reguliuoti šilumą{0}}termopora kambario temperatūrai iki 800 laipsnių ir infraraudonųjų spindulių pirometras 500–1200 laipsnių. Įkaitina plokšteles iki 150 laipsnių/s (daug greičiau nei naudojant SiC arba grafito laikiklius, kurių dangtelis siekia 20-30 laipsnių/s). O nuoseklumas? Mažiau arba lygus ±3 laipsniai vienodai žemesnėje nei 600 laipsnių , Mažiau arba lygi ±0,5 % virš to, plius ±1 laipsnio pakartojamumas – todėl jūsų rezultatai nesiskiria nuo partijų.
Jokio -skausmo operacijos: rankiniu būdu įkeliant / iškraunant viskas yra paprasta (puiku, jei norite valdyti rankas-), o garsinis signalas ir įspėjamieji žibintai praneš, jei kažkas neveikia. Kompiuterio valdymas leidžia lengvai keisti parametrus,-nereikia jokių sudėtingų mokymų.
Apima pagrindus (ir tada kai kuriuos): Sulaiko vakuumą iki 30 mTorr, palaiko deguonį iki 3 ppm ir palaiko iki 4 MFC kanalų. Nesvarbu, ar atliekate jonų implantavimo atkaitinimą, oksido auginimą ar mažų mėginių terminį apdorojimą, jis patikrina visus langelius, kad būtų užtikrintas greitas terminis apdorojimas.
Kam Tai skirta
Tai neskirta didelėms -masto gamykloms-, o laboratorijoms, atliekančioms kasdienius eksperimentus, mažam gamintojui, gaminančiam pasirinktinius komponentus, arba tyrėjų komandai, bandančiai naujas medžiagas. Jei dirbate su mažomis plokštelėmis ir jums reikia nuoseklių rezultatų be vargo naudojant pramoninio-dydžio įrangą, tai kaip tik jums.
Trumpi patarimai, kaip tinkamai jį naudoti
Temperatūros režimų perjungimas: naudokite termoporą iki 800 laipsnių temperatūroms ir perjunkite į infraraudonųjų spindulių ryšį kompiuterio programinėje įrangoje, jei norite ką nors karštesnio. Sistema automatiškai sukalibruojasi-gražus prisilietimas.
Kraunami vafliai: Nepraleiskite švarių pirštinių! Pirštų atspaudai arba dulkės sugadino rezultatus. Elkitės švelniai, nenumesdami, ir įsitikinkite, kad jis sutelktas į nešiklį-paprasti veiksmai, kurie padės išvengti galvos skausmo vėliau.
Dažni pataisymai: Jei paleidimo metu skamba garsinis signalas, pirmiausia patikrinkite, ar ertmės durelės sandariai užrakintos (visi tai pamiršome!). Jei šildymo greitis nesiekia 150 laipsnių per sekundę, įsitikinkite, kad nenaudojate nešiklio,{2}}kuris jį lėtina. Ir jei plokštelės netikėtai oksiduojasi, dar kartą-patikrinkite vakuumą (turi būti mažesnis arba lygus 30 mTorr) ir deguonies lygį (išlaikykite jį<3 ppm).
Svarbu priežiūra: Kas savaitę nuvalykite kvarco kamerą alkoholiu-nešvarumai kaupiasi greičiau, nei manote. Patikrinkite lempas kas 3 mėnesius (keiskite po 1000 valandų), o sandarinimo žiedus kas mėnesį, ar nėra įtrūkimų. Ir neleiskite, kad vandens aušinimas viršytų 70 laipsnių, -tai greitas būdas sugadinti dalis.
Tvirtas darbinis arkliukas
Sertifikuotas pagal SEMI S2 standartus, šis daiktas sukurtas taip, kad tarnautų. Jame nėra ryškių papildomų funkcijų, kurių niekada nenaudosite, tačiau jame yra svarbiausios savybės: tikslumas, kompaktiškumas ir naudojimo paprastumas. Laboratorijose ir mažoms komandoms, kurioms reikalingas terminis apdorojimas, kuris veiktų kiekvieną dieną, RTP{4}}100 yra ne-protas. Jis nėra tobulas (nieko nėra!), bet patikimas – ir tai yra svarbiausia, kai bandote tęsti eksperimentus ar gamybą.
