Produkto apžvalga
Žemos-temperatūros RTP įranga: ji siūlo išskirtinai tikslų temperatūros valdymą nuo 250 iki 500 laipsnių ir efektyviai apdoroja tokias medžiagas kaip ličio niobatas ir silicis.
Jis gali apdoroti 150 8-colių plokštes vienoje partijoje, taip pat gali apdoroti 6 colių plokšteles. Jis efektyviai pašalina grotelių defektus, todėl tinka tiek tiriamiesiems bandomiesiems projektams, tiek masinei gamybai.
Žemos{0}}temperatūrinės RTP įrangos efektyvi kietųjų dalelių užterštumo kontrolė žymiai pagerina įrenginio veikimą ir labai prisideda prie stabilios gamybos visoje puslaidininkių pramonės grandinėje.
Privalumai
1. Vidutinės ir žemos temperatūros valdymas yra itin tikslus-sumažina silicio plokštelės sąsajos defektus ir išlaiko proceso stabilumą bei vienodumą.
2. Įranga veikia patikimai, visiškai atitinka tuos griežtus optoelektroninių prietaisų gamybos tikslumo poreikius.
3. Pajėgumų dizainas yra tiksliai-subalansuotas su MTEP ir masine gamyba. Pakanka-vienos partijos išvesties, todėl galite perjungti gamybos etapus nekeisdami įrangos.
4. Naudodami efektyvų valymą ir pastovią temperatūros kontrolę, mes kovojame su kietųjų dalelių užterštumu šaltiniu. Jis taip pat padidina įrenginio izoliaciją ir šviesos lauko moduliavimą, sudarydamas tvirtą pagrindą dideliam derliui.
Programos
1. Puslaidininkinių įrenginių gamyba:
Veikia kuriant CMOS, IGBT ir kitus įrenginius{0}}apima plokštelių sąsajos grotelių defektus 250–500 laipsnių žemos temperatūros diapazone. Padidina medžiagų elektrines savybes, padaro įrenginius patikimesnius, padidina masinės gamybos išeigą ir palaiko pastovų partijos veikimą.
2. Optoelektroninių įrenginių gamyba:
Tinka VCSEL, fotodetektoriams ir panašiems gaminiams. Sumažina dalelių trukdžius atkaitinimo metu, todėl silicio plokštelės sąsajos kokybė išlieka tvirta. Taip pat pagerina plonos plėvelės tankį, optinio lauko izoliaciją ir elektros izoliaciją, -be to, jis suderinamas su ličio niobatu ir kitomis medžiagomis, palaikydamas integruotų optinių įrenginių gamybą.
3. Tyrimas ir proceso patvirtinimas:
Puikiai tinka universitetams ir laboratorijoms, kuriose dirba{0}}pažangiausi dalykai, pvz., silicio karbidas ir kvantiniai lustai. Lengvai keičiasi tarp mažų-paketinių eksperimentų ir didelio-masto apdorojimo, tiksliai kontroliuojant temperatūrą, kad procesai būtų stabilūs. Padeda koreguoti proceso parametrus ir nagų technologinius proveržius.
Parametrai
|
Vaflio dydis |
8 colių (suderinamas su 6 colių) |
|
Temperatūros diapazonas |
250-500 laipsnių |
|
Plokščia zona |
860mm |
|
Pakrovimo pajėgumas |
150 vaflių/partija |
|
Taikomos medžiagos |
Ličio niobatas, silicis ir kt |
DUK
Kokio dydžio plokšteles gali apdoroti ši žemos{0}}temperatūros RTP įranga?
Jis daugiausia tvarko 8-colių plokšteles, taip pat veikia ir 6 colių plokštelės. Puikiai tinka mažiems ir vidutiniams puslaidininkiams ir optoelektroniniams prietaisams apdoroti.
Kaip temperatūros reguliavimo diapazonas ir tikslumas? Ar jis gali atitikti žemos temperatūros procesų reikalavimus?
Temperatūra svyruoja nuo 250 laipsnių iki 500 laipsnių, o valdymas yra labai tikslus. Pastovios temperatūros zona yra 860mm ilgio, todėl ji tiksliai reguliuoja žemos-temperatūros diapazoną-visiškai atitinka puslaidininkių ir optoelektroninių įrenginių žemos-temperatūrinio terminio apdorojimo poreikius!
Koks didžiausias vaflių skaičius, kurį galima apdoroti vienoje partijoje? Ar jis gali būti naudojamas tiek tyrimams, tiek masinei gamybai?
150 vaflių vienoje partijoje. To pakanka mažiems-paketiniams eksperimentams universitetuose ir laboratorijose, be to, tai atitinka įmonių masinės gamybos-darbų efektyvumo poreikius abiem pusėms.
Kokias medžiagas jis gali apdoroti? Ar jis suderinamas su dažniausiai naudojamais optoelektroniniais prietaisais?
Jis gali apdoroti tokias medžiagas kaip ličio niobatas ir silicis. Puikiai tinka gaminti puslaidininkinius įrenginius, tokius kaip CMOS ir IGBT, taip pat optoelektroninius įrenginius, tokius kaip VCSEL. Apima visus pagrindinius medžiagų reikalavimus.
Kas garantuoja proceso stabilumą, pavyzdžiui, užteršimo kietosiomis dalelėmis kontrolę?
Jame yra pažangi kietųjų dalelių užterštumo kontrolė ir efektyvi valymo technologija, kuri sumažina dalelių trukdžius apdorojimo metu. Be to, dėl didelio tikslumo
Populiarus Žymos: žemos-temperatūros RTP įranga, Kinija žemos-temperatūros RTP įrangos gamintojai, tiekėjai
