Produkto apžvalga
Mūsų SiC epitaksinė krosnis yra specializuota įranga, sukurta homoepitaksiniam 4H-SiC, pagrindinės medžiagos trečiosios- kartos puslaidininkiuose, augimui. Sukurta palaikyti didelio našumo-SiC epitaksinių sluoksnių gamybą, ši sistema integruoja tikslų proceso valdymą ir tvirtą aparatinės įrangos dizainą, kad būtų pateikti nuoseklūs ir patikimi pažangios puslaidininkių gamybos rezultatai.
Privalumai
Didelė{0}}greita, aukštos-kokybės epitaksinis augimas: gali greitai ir tolygiai nusodinti 4H-SiC sluoksnius, padidinti pralaidumą išlaikant medžiagų vientisumą pramoninio masto gamybai.
Puiki vienodumo kontrolė: užtikrina tikslų sluoksnio storio ir dopingo koncentracijos reguliavimą, užtikrinant nuoseklias medžiagos savybes tarp plokštelių ir tarp partijų.
Didelių plokštelių ir pažangių konstrukcijų palaikymas: tinka 6-colių ir 8-colių substratams ir puikiai tinka gaminti storus, mažai defektų turinčius epitaksinius sluoksnius, reikalingus šiuolaikiniuose maitinimo ir RF įrenginiuose.
Tikslus šilumos valdymas: veikia iki 1700 laipsnių temperatūroje, o temperatūros kontrolės tikslumas yra ±0,1 laipsnio, palaiko stabilias augimo sąlygas ir aukštą medžiagų kokybę.
Programos
Galios puslaidininkiniai įtaisai: Naudojamas gaminant SiC epitaksines medžiagas, skirtas elektromobilių inverteriams, įkrovimo infrastruktūrai, saulės energijos inverteriams ir vėjo turbinų keitikliams, užtikrinančias didesnį efektyvumą, įtampos toleranciją ir terminį stabilumą.
RF ir mikrobangų prietaisai: palaiko SiC-pagrįstų komponentų kūrimą, skirtą 5G bazinėms stotims, palydoviniam ryšiui ir radarų sistemoms, atitinkančius aukšto-dažnio ir didelės{3}}galios veikimo poreikius.
Pramoninė galios elektronika: Taikoma variklinėse pavarose, aukštos{0}}tampos perdavimo sistemose ir bėgių traukos įrangoje, padedanti pagerinti energijos vartojimo efektyvumą ir veikimo patikimumą.
Optoelektroniniai prietaisai: Teikia aukštos -kokybės SiC epitaksinius substratus UV fotodetektoriams ir šviesos-diodams, palaikančius stabilų veikimą sudėtingose optoelektronikos programose.
DUK
Klausimas: 1. Kas yra SiC epitaksinė krosnis?
A: SiC epitaksinė krosnis yra specializuota puslaidininkinė įranga, skirta 4H-SiC homoepitaksiniam augimui, naudojama aukštos-kokybės SiC epitaksinėms plokštelėms, skirtoms trečios kartos puslaidininkių galios įrenginiams, RF komponentams ir optoelektronikai, gaminti.
K: 2. Kokie yra pagrindiniai SiC epitaksinių krosnių naudojimo būdai?
A: Jie plačiai naudojami naujose energijos transporto priemonėse, fotovoltinėse, vėjo energijos, 5G ryšių, pramoninės galios elektronikos, aukštos įtampos energijos perdavimo, kosmoso ir gynybos srityse, kad būtų galima naudoti didelio efektyvumo, aukštos temperatūros SiC įrenginius.
K: 3. Kokie yra pagrindiniai jūsų SiC epitaksinės krosnies pranašumai?
A: Pagrindiniai pranašumai yra ypač greitas aukštos kokybės augimas, puikus storio / dopingo vienodumas, 6 colių / 8 colių plokštelių palaikymas, galimybė naudoti storus mažai defektų sluoksnius ir tikslus temperatūros valdymas iki 1700 laipsnių ±0,1 laipsnio tikslumu.
Kl.: 4. Kokio dydžio plokštelių palaiko jūsų SiC epitaksinė krosnis?
A: Mūsų sistema palaiko 6 colių (150 mm) ir 8 colių (200 mm) SiC substratus, atitinkančius pagrindinius ir naujos kartos pramoninės gamybos standartus.
Kl.: 5. Ar gali pagaminti storus ir mažai defektų SiC epitaksinius sluoksnius?
A: Taip. Jis specialiai sukurtas taip, kad atitiktų storų epitaksinių sluoksnių ir mažo defekto 4H SiC medžiagų poreikį, idealiai tinka aukštos įtampos maitinimo įrenginiams ir didelio našumo RF programoms.
K: 6. Ar ši krosnis tinka MTTP ir masinei gamybai?
A: Taip. Dėl didelio vienodumo, stabilumo ir mastelio jis tinka medžiagų tyrimams ir plėtrai, procesų plėtrai ir didelės apimties masinei SiC epitaksinių plokštelių gamybai.
Kl.: 7. Ar teikiate pritaikytus sprendimus ir palaikymą po pardavimo?
A: Mes siūlome pritaikytas konfigūracijas, proceso receptus ir automatizavimo parinktis. Visiškas aptarnavimas po pardavimo apima montavimą, mokymą, techninę priežiūrą, atsargines dalis ir nuotolinį / vietoje techninį aptarnavimą.
Populiarus Žymos: sic epitaxy krosnis, Kinijos sic epitaxy krosnių gamintojai, tiekėjai
