Oksidacijos ir difuzijos RTP įranga yra pagrindinis puslaidininkių terminio apdorojimo įrankis,{0}}sujungiantis oksidaciją, difuziją ir atkaitinimą į vieną tvirtą įrenginį. Jis sklandžiai veikia su siliciu, silicio karbidu ir kitomis svarbiomis medžiagomis, tvarko iki 8 colių plokšteles ir užsitarnavo reputaciją dėl patikimo veikimo ir tikslaus valdymo, atitinkančio kasdienius puslaidininkių apdorojimo reikalavimus.
Pagrindinės programos
1. Masinė silicio{1}}pagrįstų įrenginių gamyba: tai yra IC, IGBT ir panašių komponentų darbo arkliukas. Jį naudosite izoliacinėms plėvelėms auginant oksidacijos būdu, dopingo lygiams nustatyti naudojant difuziją ir defektams išlyginti atkaitinant-, kartu išlaikant didelį-tūrį, reikalingą buitinei elektronikai ir pramoniniam valdymui.
2. Platus-pralaidos medžiagų apdorojimas: šis įrankis tikrai yra savarankiškas naudojant pažangias medžiagas, pvz., SiC ir GaN. Tai leidžia tiksliai sureguliuoti dopingo koncentraciją ir išlyginti medžiagų sąsajas, o tai yra labai svarbu kuriant didelio našumo dalis,-galvokite apie galios modulius naujoms energetinėms transporto priemonėms, kurios turi atlaikyti sunkias sąlygas.
3. Puslaidininkių moksliniai tyrimai ir plėtra: universitetai ir laboratorijos prisiekia jos lankstumu. Tai kelių{2}procesų platforma, leidžianti tyrėjams be vargo keisti oksidaciją, difuziją ir kt
Idealūs vartotojai
1. Didelės-gamybos įmonės: jei parduodate puslaidininkius plataus vartojimo elektronikai ar naujoms energetinėms transporto priemonėms, ši įranga yra būtina{2}}. Jo viskas-viename-dizainas sumažina papildomas išlaidas ir užtikrina, kad darbo eigos judėtų, o pastovus našumas užtikrina, kad gamyba nenutrūks, o derlius išliks pastovus-jokių netikėtų prastovų, kurios sulėtintų jus.
2. Mokslinių tyrimų institucijos ir universitetai: komandoms, kasiančioms naujas puslaidininkines medžiagas, šis įrankis tinka. Jis lengvai atlieka nedidelius-paketinius eksperimentus, veikia su daugybe medžiagų ir leidžia prireikus pakoreguoti proceso parametrus,-padedant pagreitinti naujovių diegimą nepakenkiant rezultatams.
3. Vidutinių ir mažų įrenginių gamintojai: jei jums reikia suderinti individualius užsakymus su serijine gamyba, ši įranga yra protingas pasirinkimas. Jis veikia su keliomis medžiagomis, todėl jums nereikia pirkti atskirų įrankių skirtingiems procesams, o 1-4 proceso vamzdžių sąranka leidžia padidinti arba sumažinti talpą. Šis judrumas yra didelis pliusas, kai bandote išlikti konkurencingi greitai besikeičiančioje rinkoje.
