Jei gaminate puslaidininkinius ar{0}}labai tikslią elektroniką, žinote, kaip svarbu turėti įrangą, kuri suderintų našumą, lankstumą ir patikimumą. Šis pusiau -automatinis RTP (greito terminio apdorojimo) įrenginys pažymi visus tuos langelius-ir yra pritaikytas tam, kad atitiktų konkrečius gamybos poreikius, su kuriais kasdien susiduria daugelis įmonių ir laboratorijų. Suskirstykime, kur ji šviečia ir kam bus naudingiausia.
Pagrindiniai scenarijai, kuriais jis puikiai tinka
Visų pirma, ši įranga skirta 8{1}}12 colių plokštelėms-, kurios apima dažniausiai naudojamus dydžius vidutinio masto{5}}gamyboje. Tai, kas iš tikrųjų jį išskiria, yra gebėjimas valdyti grynumo ir tikslumo reikalaujančius procesus, pvz., ITO optimizavimą ir silicido lydinio atkaitinimą. Jei jūsų darbas susijęs su priemaišoms jautriu atkaitinimu, įvertinsite, kad deguonies kiekis yra mažesnis nei 1 ppm, kartu su 6 kanalų MFC, kad būtų galima rinkti tiksliai reakcijos atmosferoje.
Jis taip pat universalus, kai kalbama apie slėgį: be vargo perjunkite iš atmosferinio ir vakuuminio apdorojimo (iki 30 mTorr)-puikiai tinka projektams, kuriems reikia skirtingų aplinkos sąlygų. O vidutinei-apimčiai, kelių-paketinei gamybai? Jis išlaiko gerą pusiausvyrą: jūs vis tiek įkeliate / iškraunate plokšteles rankiniu būdu (tai patogu atliekant nedidelius važiavimus ar greitai keičiant), tačiau kameros durelės atsidaro / užsidaro automatiškai, kai tik prasideda procesas. Taip sumažinama žmogiškųjų klaidų tikimybė ir išlaikomas aukštas nuoseklumas-ne daugiau keblumų dėl nenuoseklaus rankinio valdymo.
Kam skirta ši įranga
1. Maži -–-vidutiniai puslaidininkių gamintojai: jei gaminate vidutinio- masto ir jums reikia lankstumo be visiško automatizavimo kainos, tai kaip tik jums. Jis prisitaiko prie skirtingų plokštelių dydžių ir proceso sąrankų (dėl lanksčių lempų ir SCR konfigūracijų) ir užtikrina nesudėtingą priežiūrą.
2. Elektroninių komponentų / jutiklių gamintojai: Didelio-grynumo, tikslios temperatūros kontrolės (±1 laipsnio pakartojamumas!) negalima -suderinti dėl patikimų komponentų-šis įrenginys suteikia tai, be to, trigubas saugos funkcijas užtikrina sklandų darbą.
3. Mokslinių tyrimų laboratorijos ir universitetai: Kai bandote naujas medžiagas arba optimizuojate procesus (mažos partijos, daug parametrų), tinka platus temperatūros diapazonas (kambario temperatūra iki 1250 laipsnių) ir reguliuojami šildymo laipsniai. Jis pakankamai tikslus, kad būtų galima gauti patikimus duomenis, bet pakankamai lankstus, kad būtų galima pakoreguoti nustatymus.
4. Individualių puslaidininkių paslaugų teikėjai: Kai klientai prašo skirtingų specifikacijų, jums reikia įrangos, kuri gali greitai perjungti pavaras. Šis RTP patenkina įvairius proceso poreikius-nuo atmosferos iki vakuumo, skirtingų nešėjų (SiC, grafitu-padengtas SiC)-nepraleisdamas takto.
5. Įmonės, atnaujinančios seną/rankinę pavarą: Jei pavargote nuo nenuoseklių rankinės įrangos rezultatų, bet nenorite investuoti į visišką automatizavimą, tai yra protingas vidurys. Tai efektyvu, atitinka SEMI S2 standartus ir nepakenks bankui.
Premija? Įprastos problemos (pvz., kameros durelių trikdžiai ar deguonies šuoliai) yra lengvai išsprendžiamos-nereikia kiekvieną kartą laukti specialisto. O su šiuo SEMI S2 sertifikatu jums nereikės jaudintis, kad atitiksite pramonės saugos ir aplinkosaugos standartus. Apibendrinant, tai paprastas, našus ir našus
