Produkto apžvalga

Mūsų įmonės trys magnetinio purškimo įrenginiai, pagrįsti PVD technologija, padengia aukštos{0}kokybės metalines, dielektrines ir puslaidininkines plėveles, tačiau skiriasi taikymo sritimi.

Paimkite pramoninį vienos{0}}kameros modelį: jis sukurtas didelio masto-gamybai, naudojant išskirtinį tikslą, kuris kontroliuoja išlaidas. Jis sklandžiai tvarko 8 colių plokšteles ir atitinka nuoseklius pramoninės gamybos poreikius.

Tada yra pramoninė kelių kamerų versija,{0} kuri naudoja modulines, nepriklausomas kameras (galvokite apie šildymą, purškimą ir kt.), kad būtų automatizuotas visas dengimo procesas.

Tai žaidimo{0}}keitiklis, skirtas masinei-sudėtingų kelių sluoksnių-filmų gamybai, sumažinant rankinio įsikišimo poreikį. Kita vertus, mokslinių tyrimų-klasės mašina sukurta specialiai universitetams ir mokslinių tyrimų institucijoms. Jame siūlomos lanksčios sąrankos,-pvz., kelių-taikinių purškimas-, kad būtų galima atlikti nedidelius-partijinius MTTP darbus, nesvarbu, ar tai būtų silicio karbido medžiagos, ar kvantinių lustų prototipai. Visuose trijuose laikomės savo „meistriškumo kokybės“ įsipareigojimo ir užtikriname, kad jie atitiktų įvairius puslaidininkių pramonės poreikius.

Norėdami rasti geriausią sprendimą, susisiekite su mumis.

Programos

Mūsų įmonės trys magnetinio purškimo įranga turi savo nišą{0}}, kuri kartu patenkina visus puslaidininkių pramonės poreikius.

Paimkite pramoninį vienos{0}}kameros modelį: visa tai susiję su didelės-kameros, pvz., integrinių grandynų, gamyba. 8-colių plokščių plonasluoksnės plėvelės paruošimas yra greitas ir stabilus, prijungiamas tiesiai prie CMOS / IGBT gamybos linijų ir be kliūčių pasiekia talpos ir našumo tikslus.

Pramoninis daugiakamerinis{0}}išsiskiria visišku automatizavimu ir tvirta integracija. Tos sudėtingos sudėtingos daugiasluoksnės 5G ir optoelektroninių įrenginių plėvelės? Jis lengvai su jais susitvarko, tenkindamas griežtus masinės gamybos tikslumo reikalavimus.

Tada šis tyrimo{0}}pavyzdžio modelis-pritaikomas universitetų moksliniams tyrimams ir plėtrai. Jis palaiko mažų-partijų bandymus su naujomis medžiagomis, pvz., silicio karbidu, ir veikia kaip itin lanksti tikrinimo platforma.

Privalumai

Kiekvienas iš mūsų trijų magnetinio purškimo įrenginių suteikia stalui tikslines stipriąsias puses, pritaikytas skirtingiems taikymo scenarijams:

1. Pramoninis vienos-kameros modelis:

Jis pasižymi dideliu balu ir dideliu tiksliniu panaudojimu{0}}tiesiogiai sumažina veiklos išlaidas. Apdorojant 8-colių plokšteles, jis užtikrina nepriekaištingą našumą; plėvelės vienodumas išlieka ±3 % ribose, nesunkiai atitinka pramoninio derlingumo reikalavimus. Be to, dėl nesudėtingos konstrukcijos priežiūra tampa paprasta.

2. Pramoninis kelių{1}}kamerų modelis:

Modulinės automatizuotos kameros yra jos tūzas, žymiai padidinančios gamybos efektyvumą. Jame taip pat yra pažangus dalelių valdymas, kuris užtikrina aukščiausios-pakopos plėvelės grynumą-, puikiai tinkančią daugiasluoksnėms -plėvelėms, naudojamoms 5G ir optoelektroniniuose įrenginiuose, kurti. Be to, jo stipri integravimo galimybė leidžia sklandžiai prisitaikyti prie įvairių medžiagų.

3. Tyrimo-Pažymių modelis:

Sukurtas atsižvelgiant į mokslinius tyrimus ir plėtrą, jis siūlo lanksčias sąrankas, pvz., kelių{0}}taikinių purškimą, kad atitiktų naujus medžiagų kūrimo poreikius. Mikrometro-lygio tikslumas užtikrina patikimą proceso patikrinimo palaikymą, o jo maža-paketinio apdorojimo konstrukcija padeda sumažinti MTTP bandomąsias išlaidas-, idealiai tinka laboratoriniams tyrimams.

Parametrai

Prekė	Pramoninis vienos{0}}kameros modelis	Pramoninis kelių{0}}kamerų modelis	Tyrimas-Pažymių modelis
Taikomas vaflių dydis	8 colių ir žemiau	6 colių / 8 colių	8 colių ir žemiau
Galutinis vakuumas	8x10-5 Pa	2x10-5 Pa	-
Filmo vienodumas	Mažiau arba lygus ±3 %	Mažiau arba lygus ±3 %	±3 % (4 colių taikinys, 8 colių plokštelė)
Substratas Stage Temp.Control	RT-650 laipsnių (arba aušinimas)	-	RT-600 laipsnių (šildymas arba vėsinimas)
Pagrindo pakopos sukimosi greitis	-	-	5-20 aps./min
Purškimo metodas	Vieno{0}}taikinio purškimas	-	Vienas-taikinys / keli{1}}taikiniai nuosekliai / bendras{2}}purškimas
Maitinimo šaltinis	Pasirenkama DC/RF/MF	-	Pasirenkama DC/RF/MF
Pagrindinės konfigūracijos	Viena proceso kamera; Mažiau arba lygus 4 taikiniams	Mažiau arba lygi 5 proceso kameroms (kaitinimo, aušinimo, purškimo ir kt.)	Daugia{0}}taikinių purškimas: išankstinio-vakuuminė kamera (nebūtina); mėginio valymo modulis
Taikomos medžiagos	Silicis, junginiai, keramika ir kt.	Silicis, junginiai ir kt.	Metalai (Al, Au, Cu), dielektrikai (SiO2, TaN), puslaidininkiai

DUK

Kaip išsirinkti iš trijų modelių?

Masinei 8-colių plokštelių (pvz., CMOS/IGBT) gamybai pasirinkite pramoninį vienos{5}}ertmės modelį; sudėtingoms daugiasluoksnėms 5G/optoelektronikos plėvelėms pasirinkite pramoninį kelių ertmių modelį; naujų medžiagų (pvz., silicio karbido) tyrimams ir kūrimui universitetuose pasirinkti tyrimo modelį.

Ar jis palaiko ne{0}}silicio-pagrindo medžiagų dangą?

Taip, jis palaiko viską, apimantį keramiką, sudėtinius puslaidininkius, metalus (Al/Au), dielektrikus (SiO₂) ir kt.

Ar galima išplėsti vaflių dydį?

Numatytasis yra 8 coliai ir mažesnis (6-8 coliai kelių-ertmių modeliui). Mažos apimties plėtra gali būti pritaikyta iš anksto, tačiau reikia įvertinti proceso pagrįstumą.

Kokios yra plėvelės storio vienodumo, mažesnio arba lygaus ±3 %, bandymo sąlygos?

Remiantis 8 colių plokštelėmis (4 colių tikslinė + 8- colio plokštelė tyrimo modeliui), standartinis metalo / dielektrinės plėvelės sluoksnio bandymas. Galima optimizuoti įvairioms medžiagoms/plėvelės storiams.

Ar rengiami montavimo mokymai?

Siekdami užtikrinti, kad komanda galėtų greitai pradėti, teikiame{0}}įrengimą ir paleidimą vietoje, taip pat eksploatavimo / techninės priežiūros mokymus.

Ar įranga gali būti atnaujinta vėliau?

Daugia{0}}ertmių ir tyrimų modelius galima patobulinti naudojant tikslinius pistoletus / išankstines{1}}vakuumines kameras; vienos-ertmės modelių atnaujinimo galimybės yra ribotos, todėl rekomenduojame nuo pat pradžių aiškiai apibrėžti ilgalaikius-poreikius.

Kiek laiko trunka pristatymo ciklas? Ar galima tai pagreitinti?

Vienos-ertmės / tyrimų modeliai: 8-12 savaičių; kelių ertmių modeliai: 12-16 savaičių; dėl greito pristatymo galima derėtis ir priklauso nuo gamybos linijos grafiko.

Ar taikomos nuolaidos{0}}pogamybinės priežiūros išlaidoms?

Daugiausia tikslinėms medžiagoms ir eksploatacinėms medžiagoms. Eksploatacinės medžiagos siūlomos su didesne arba lygia 10% nuolaida 5 metus pasibaigus garantiniam laikotarpiui. Taip pat teikiame techninės priežiūros gaires, kad sumažintume išlaidas.

Populiarus Žymos: magnetroninio purškimo įranga, Kinijos magnetroninio purškimo įrangos gamintojai, tiekėjai