Produkto apžvalga
„Nice{0}}Tech“ siūlo dvi specialias silicio ėsdinimo sistemas, skirtas skirtingų dydžių plokštelėms, kurios yra pagrįstos ICP technologija ir pritaikytos masinei IC gamybai.
12 colių sistema (SES-12)
Sutelkti dėmesį į 12-colių IC priekinės-(FEOL) procesus. Sudarytas iš ICP ėsdinimo kamerų ir perdavimo modulio, jis apima silicio ėsdinimo, dielektrinio ėsdinimo, vartų ėsdinimo, W įdubos ir SADP, skirtas didelio tikslumo loginių ir atminties įrenginių modeliavimui.
8 colių sistema (SES-8)
Kelių{0}}kamerų sistema, skirta 8-colių įrenginiams, orientuota į vartų procesus. Jis užtikrina, kad -plokštelės ir plokštelės-išgraviravimo vienodumas būtų mažesnis nei 5 %, puikus dalelių valdymas ir palaikomas AA, STI, tarpiklis ir W įdubimas.
Privalumai
Plati proceso aprėptis
Čia turime dvi pagrindines nuostatas. 12 colių sistema perima visus FEOL procesus, be problemų. Kalbant apie 8 colių? Jis orientuotas į vartus ir susijusius procesus ir puikiai tinka 0,11 μm ir didesniems mazgams.
Didelis tikslumas ir stabilumas
Šios sistemos šviečia tikslumu. 12-colių modelis užtikrina aukščiausios-pakopos vienodumą ir ėsdinimo selektyvumą – būtent tai, ko reikalauja pažangūs procesai. 8 colių versija taip pat turi savo: mažas vienodumo nuokrypis ir griežta dalelių kontrolė, todėl galite tikėtis nuoseklių rezultatų.
Masinė-gamyba ir sąnaudų-efektyvumas
Geriausia, kad abu yra paruošti masinei gamybai. 12-colių yra sukurta didelės-masto gamybos linijoms, o tai tinka didelės apimties{6}}paleidimams. Tačiau 8 colių įstrižainė yra protingas pasirinkimas, jei didinate talpą – taip sutaupoma ir vietos, ir išlaidų, o tai visada yra privalumas atliekant operacijas.
Taikymas
IC FEOL gamyba
12 colių sistema, skirta 12 colių logikos/atminties FEOL procesams; 8 colių sistema, skirta 8 colių vartams išgraviruoti.
Išplėstiniai procesai
12 colių sistema palaiko SADP/W įdubą; 8 colių sistema veikia STI/spacer procesams.
Padidinti talpą
12-colių integruojamas į didelius gaminius; 8-colių užtikrina ekonomišką vidutinių mažų gaminių palaikymą.
Parametrai
|
Kategorija |
12 colių silicio ėsdinimo sistema |
8 colių silicio ėsdinimo sistema |
|
Suderinamumas su plokštelėmis |
12- colių (300 mm) IC plokštelės, pritaikytos masinės gamybos linijoms |
8 colių IC plokštelės; suderinamas su 0,11 μm ir pažangių technologijų mazgais |
|
Kameros konfigūracija |
ICP ėsdinimo kameros + perdavimo modulis |
ICP ėsdinimo kameros + perdavimo modulis; kelių kamerų dizainas masinei gamybai |
|
Pagrindinės proceso galimybės |
Silicio ėsdinimas, dielektrinis ėsdinimas, vartų ėsdinimas, W įduba, SADP |
Vartelių ėsdinimas, AA, STI, tarpiklio ėsdinimas, W įduba |
|
Išgraviruoti vienodumą |
Aukščiausia vienodumo kontrolė (atitinka pažangius mazgų tikslumo standartus) |
Mažiau nei arba lygus 5 % -plokštėje; Mažiau arba lygus 5 % plokštelės-į-plokštę |
|
Dalelių kontrolė |
Griežta dalelių kontrolė užtikrina aukštą produkto išeigą |
Puiki dalelių kontrolė stabiliai masinei gamybai |
|
Pramonės atitiktis |
Tinka 12-colių IC tūrio gamybai; atitinka puslaidininkių masinės gamybos standartus |
Nepriklausomas optimizuotas dizainas; tinka 8 colių didelei erdvei ir talpos padidinimo išlaidų poreikiui |
DUK
K: Kokius plokštelių dydžius palaiko dvi sistemos?
A: 12 colių sistema palaiko 12 colių (300 mm) IC plokšteles, o 8 colių sistema palaiko 8 colių IC plokšteles.
K: Kokius pagrindinius procesus jie apima?
A: 12 colių sistema apima silicio ėsdinimą, dielektrinį ėsdinimą, SADP, W įdubą ir kt.; 8 colių sistema orientuota į vartų išgraviravimą ir palaiko STI, tarpiklio etch ir kt.
Kl.: Su kokiais technologijos mazgais jie suderinami?
A: 12 colių sistema prisitaiko prie pažangių technologijų mazgų; 8 colių sistema suderinama su 0,11 μm ir didesniais pažangiais mazgais.
K: Ar abi sistemos tinka masinei gamybai?
A: Taip. 12-colių sistema tinka didelės-masto gamybos linijoms, o 8-colių sistema taupo vietą ir yra ekonomiška masinei gamybai.
K: Koks yra 8 colių sistemos ėsdinimo vienodumas?
A: Plokščių vienodumas yra mažesnis arba lygus 5 % ir mažesnis arba lygus 5 % plokštelės-to{4}}plokštelės vienodumas.
Populiarus Žymos: silicio ėsdinimo sistema, Kinijos silicio ėsdinimo sistemų gamintojai, tiekėjai
